设备参数
In-line结构,6个腔体,设备自动化
基板规格尺寸 450mmX325mmx3.2mm(长*宽*厚)
可实现3源材料共蒸,同时可根据工艺制程需求进行线源或点线源扩展
设备产能
32大片/天(8H),256小片/天(8H)(按C60以1A/s速率
蒸镀200A为例)
设备尺寸
6000mmX1800mmX2800mm(长*宽*高)
单体腔体最大尺寸1200mmX1800mmX2500mm(长*宽*高)
系统占地尺寸
7000mmX5000mmX3400mm(长*宽*高)
