蒸镀机系列-FS-G1-6

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设备主要参数

1、主体结构:Cluster结构,集成了有机蒸镀、金属蒸镀、PT处理、loading等功能。

2、基板尺寸:200 mm×200 mm,厚度0.5-1.1mm。 

3、有机蒸镀(点源)∶均匀性误差:≤3%,速率稳定性≤5%。

4、金属蒸镀(点源)∶均匀性误差∶≤5%,速率稳定性≤5%。

5、极限真空∶2.0×10-5Pa。


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