蒸镀机系列-FS-G1-3

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特点及应用

1、集成化控制系统,所有操作均在电脑或触摸屏界面完成,控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免人员误操作。

2、设备组成模块化∶采用团簇式结构,中间传输室周围可对接多种功能的设备。

3、采用较大容积的坩埚和双探头设计,避免经常性的开腔添加材料及更换晶振片。

4、工艺条件好,真空状态下,软件控制自动取放基片及更换MASK。有机蒸镀共有20组蒸发源,可做到多源共蒸,可满足基本所有的蒸镀工艺要求。

5、本产品属于中试类设备,主要应用于OLED材料量产前验证,微显示器件的生产等。


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