蒸镀机系列-FS380

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特点及应用

1、高集成设计,控制与设备主体集成在一起,整体尺寸小于1.1米×0.9米×2米(长宽高),操作系统在工控机或触摸屏界面完成,控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免人员误操作。

2、恢复工作真空快,大气至5.0X10-E4Pa小于15分钟(充惰性气体,从手套箱内操作)。

3、有8组蒸发源,可做到双源共蒸,真空环境下可更换2次mask,工艺条件好,蒸镀器件效率高。

4、本产品属于科研类设备,可实现金属和有机材料同腔室蒸镀,主要应用于钙钛矿材料、二维材料,光伏太阳能电池及OLED材料验证的器件制备等。


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