蒸镀机系列-FS600

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特点及应用

1、集成式一体的设计,操作系统在工控机上完成,控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免人员误操作。

2、恢复工作真空快,大气至5.0X10-E4Pa小于15分钟(充惰性气体,从手套箱内操作)。

3、有16组蒸发源,可做到多源共蒸,真空环境下可更换2次mask ,工艺条件好,蒸镀器件效率高,寿命长。

4、本产品属于实验室类设备,可实现金属和有机材料同腔室蒸镀。主要应用于OLED材料验证,光电器件结构优化等。


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