蒸镀机系列-FS-G2.5代量产线

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2016年,方昇光电科研团队承接国家重点研发计划“战略型先进电子材料”重点专项项目“高效大面积OLED照明器件制备的关键技术及生产示范”,这是“十三五”期间唯一的OLED照明和OLED装备项目。科研团队历经3年的不懈努力与团结协作,从设计、加工、组装到调试,成功自主研发制造全国首条G2.5代(玻璃尺寸为370 mm ×470 mm)量产线。


2019年9月,G2.5代量产线成功点亮,可根据需要制备多种形状和颜色的OLED照明灯片。量产线中的蒸镀有机材料的线性蒸发源和全自动蒸镀控制系统,可使有机材料蒸镀均匀性达到97%、实现120秒每片的生产效率。


G2.5代量产线是国产OLED装备关键技术的重大突破,表明我国已具备开发和制造中小尺寸OLED生产线的能力,为实现高世代大面积真空蒸镀设备国产化迈出了重要的第一步。


设备主要参数:

  1、主体结构∶进样及PT清洗+线源有机蒸镀+金属电极蒸镀及封装。

  2、基板尺寸∶370 mm×470 mm,厚度0.5-1.1mm。

  3、生产节拍∶150秒。

  4、有机蒸镀(线源)∶均匀性误差∶≤3%,速率稳定性≤5%。

  5、金属蒸镀(点源)∶均匀性误差∶≤5%,速率稳定性≤5%。

  6、稼动率≥80%。

  7、设备极限真空∶2×10-E5pa。


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