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管式炉

1200度高温CVD(管式):

   1 炉管直径:50MM,材料:石英;

   2 最高温度:1200;控温精度:±2;

   3 进气:四路MFC(质量流量计),流量0-200SCCM;

   4 抽气系统:旋片式真空泵,极限真空:6.7*10E-1Pa;

   5 气路均采用精密卫生级不锈钢制作;

   6 机架:工业铝型材搭建,外观简洁,美观;

   7 万向脚轮:可任意移动至任何位置;



1600度高温CVD(管式):

   1 炉管直径:80MM,材料:氧化铝陶瓷(刚玉管);

   2 最高温度:1600;控温精度:±5;

   3 进气:四路MFC(质量流量计),流量0-200SCCM;

   4 抽气系统:旋片式真空泵,极限真空:6.7*10E-2Pa;

   5 气路均采用精密卫生级不锈钢制作;

   6 机架:工业铝型材搭建,外观简洁,美观;

   7 万向脚轮:可任意移动至任何位置;


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