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前期处理(等离子体清洗)

整机规格

1320mm×1030mm×1600mm(W×D×H)

腔体规格

400mm×450mm×400mm(W×D×H)

腔体容积

70L

电极规格

内置平板式电极,374×340(W×D)

可载物层数

共6层,层间距50mm

电源系统

固态晶体管等离子发生源

控制系统

触摸屏+PLC控制

进气系统

2路进气、1路放空

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