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热烈祝贺我司FS300有机金属真空热蒸镀仪获得苏州市工业设计类专项资金支持
 
 

2019年3月5日,苏州工信局发布了“2018年度苏州市市级打造先进制造业基地专项资金(第二批)拟扶持项目名单”,我司FS300有机金属真空热蒸镀仪成功入选,目前公示已经结束。

FS300主要面向有机半导体照明、太阳能电池等客户,腔体设计紧凑,最多可容纳12组蒸发源,满足白光器件。


FS300简介
腔体方形:300*300*(300-600),前开门,后侧移门(接手套箱),材质:SUS304
真空系统分子泵+机械泵配旁抽阀极限真空可到2.0*10-5Pa
基片盘伺服电机控制可在0-50/分匀速转动可任意角度定位

可装1-432*32基片 (最大可蒸镀直径150mm)

配四块掩膜板掩膜图形0-12

蒸发源蒸发源2-12组:在腔体底部呈发散形分布,相互间挡板隔开,避免交叉污染
适用范围科研类,金属和有机材料蒸镀,金属和有机材料可同时蒸镀;较多运用到太阳能电池和OLED的研发
 



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