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我司FS450有机金属真空热蒸镀仪入选2018年江苏省首台(套)重大装备
 
 

我司FS450有机金属真空热蒸镀仪入选2018年江苏首台(套)重大设备!

2018年12月28日,江苏省工业和信息化厅发布了“关于公布2018年度江苏省首台(套)重大装备认定名单的通知”。此次入选,意味着我司FS450有机金属真空热蒸镀仪填补了国内空白,并有望打破国际垄断。

FS450主要面向有机半导体照明,较300、380配置更有提升,并且在蒸发源上可以扩展至16组,对实验有着更多的灵活性,器件性能更强。


FS450简介
腔体方形450*450*(400-800)前开门后侧移门接手套箱),材质SUS304
真空系统分子泵+机械泵配旁抽阀极限真空可到2.0*10-5Pa
基片盘伺服电机控制可在0-50/分匀速转动可任意角度定位

可装1-432*32基片,最大有效蒸镀面积150mm;

配四块掩膜板掩膜图形0-12
蒸发源蒸发源2-16在腔体底部呈发散形分布相互间挡板隔开避免交叉污染
适用范围科研类,金属和有机材料蒸镀,金属和有机材料可同时蒸镀;较多运用到OLED的研发


 



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